就如同拖在脚下的沉重镣铐。尝试提升精度?核心光源功率不足、稳定性差!镜头光路系统像差难以修正!
浸没式水膜系统流速控制不稳定极易产生气泡造成曝光缺陷!工作台移动精度只能达到勉强满足180nm制程要求的水准!
一次次的优化调校失败!
一批批昂贵的“昆仑胎玉”硅片变成废料堆里的焦黑残骸!
一瓶瓶珍稀的“蚀影”胶水被无效消耗!
时间像流水一样过去!
“烛龙”反应堆的工期倒计时如同催命符悬在头顶!
焦躁!绝望!无能为力的负面情绪如同一头巨大的阴影怪兽在实验室里弥漫。再这样下去,别说7nm,连稳定量产200nm都可能遥遥无期!时间要被拖死了!
又是一个深夜,会议室烟雾缭绕,人人眼窝深陷。
袁涛,这个头发已经因熬夜过度而变得稀疏的技术骨干,狠狠掐掉了虚拟烟头,眼睛通红地站起来。
“苏总!常规优化走不通了!时间根本不给机会!我们…必须走险棋!用多重曝光!用超常规的工艺路径去迭高精度!”
满室皆惊!
“多重曝光?!”
李老花白的眉毛瞬间拧成了疙瘩。
“理论上是可行!但那是要在完美设备上才能实施的极限微操!我们现在这台伏羲一号…自己走直线都打飘!用它迭曝?层数一多,任何一丁点套刻对准偏差,都会层层放大!误差累积下来,就是一场灾难!良率…会惨不忍睹!”
“我们没时间打磨设备了!”
袁涛的声音嘶哑,带着破釜沉舟的决绝。
“就用笨办法!堆层数!
一次对准误差可能超15nm,那我们就牺牲更大范围,用更繁琐的五层、甚至六层曝光!用设计冗余把线路加粗加宽!硬生生把平均套刻误差压下去!
靠工艺复杂性去逼近7nm的物理线宽!苏总,这是目前我们唯一可能够得着的路了!风险大我知道!失败几率超过九成我也知道!可总比现在原地等死强!”
所有目光都聚焦在沉默的苏定平身上。会议室的空气粘稠得如同铅汞。
苏定平看着投影屏上那张被标记为五层光刻掩模版、线条堆迭得如同乱麻、结构臃肿得如同拼凑补丁般的7nm测试芯片结构图。
那张图,就像个绝望者病急乱投医、强行制造出来的怪物!丑陋!低效!违背常规设计的简洁和高效美学!
但他更知道袁涛没说错。没有时间了!
“干!”
苏定平猛地一掌拍在桌子上,合金桌面发出一声沉闷的呻吟,震得虚拟烟灰缸里的像素都跳了一下。
他的声音斩钉截铁。
“立刻组建迭影攻坚组!袁涛任现场技术总监!按照五层曝光方案实施!哪怕成功率只有万分之一!只要还有一丝可能造出符合7nm节点特征尺寸的晶体管!
这条路就给我走下去!失败?废品?烧钱?算我的!所有责任后果我一人承担!目标只有一个——打通这条带血的路径!给烛龙堆芯!送去能搏动的心!”
接下来的日子,龙芯实验室如同进入了某种惨烈的、自我消耗的绞肉机模式。
每一次五层曝光,都是对设备稳定性、工艺精密度、工程师神经极限的一次地狱级考验!
涂胶…对准…曝光!
再换掩模…再涂底层抗反射涂层…再对准…再曝光!
如此反复五次!
实验室里弥漫着一种近乎疯狂的气息。操作员的眼睛几乎长在对准仪的视窗上,每一次微调都屏住呼吸,手心全是冷汗。
空气中充满了各种光刻胶溶剂、显影液以及
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