“还有,那些冻得硬邦邦的管道接口,让咱们的人盯紧了,这次不能再出任何差错!价钱……就按他们说的办!”
“是!”
能源部长腰弯得更深了,语气苦涩却斩钉截铁。
龙心实验室深处。
苏定平已经连续在超真空暗室待了72小时。反射镜镀膜失败堆积的数据报告,那些层层迭迭、远超标准的红色误差标记,像一根根钢针扎在他的神经上。
资金在燃烧,秦百川倾注整个中创科技的赌注沉甸甸地压在心头,没有退路!
“超真空环境……离子束……抛光面的均匀性……”
他对着满屏的数据模型,喃喃自语,手指无意识地在桌面上划着无形的复杂结构。
突然,他动作一顿,眼睛死死盯住角落里一份陈旧的研究档案封面,那上面印着几个已被尘埃覆盖大半的字迹,还有一幅略显夸张的结构示意图——《仿星器等离子体约束壁面抛光工艺可行性研究》。
一道电光瞬间劈开苏定平脑海里的迷雾!
“是了!仿星器!”
他猛地一拍桌子。
“啪”的一声巨响在安静的实验室里回荡。
“它的核心约束腔体内壁,不也是需要在超真空环境下,做到原子级的绝对光滑和平整度吗?还有那复杂的磁流体形态……离子束对材料表面的刻蚀……”
他像抓住救命稻草,整个人扑到电脑前,手指在键盘上快得带起残影。
大量的仿星器技术细节、离子流密度模型、真空腔壁材料在特定能量粒子轰击下的表面形变数据……以前积累的、与光刻机看似无关的实验数据,此刻如同奔腾的洪水找到了新的河道,疯狂地涌入设计EUV反射镜的超精密抛光方案中!
两天两夜,不眠不休!伴随着浓烈的咖啡烟味和打印机疯狂的嘶鸣,一套截然不同的设计图纸诞生了!
不同于蔡司依赖的传统机械抛光和磁控溅射,它核心是基于超高能离子束在超洁净真空环境中对光学基片表面进行“原子级雕刻”,辅以动态补偿系统,将原先图纸锁死无法突破的0.1nm精度线,狠狠地压到了0.08nm!
图纸最终成型,墨迹未干。
苏定平盯着那最终的核心数据——“面型精度 RMS误差。
≤0.08nm”,一向沉稳的脸上也忍不住露出一丝狂喜的潮红。
他抓起图纸冲到隔壁的抛光实验室,声音沙哑却透着难以抑制的激动。
“老陈!按这个方案!立刻!准备实验!”
陈工接过图纸,只看了几眼,眼珠子就瞪圆了。
“离子束束径控制到0.5微米?能量分级补偿?这思路……绝了!苏总工……这……你从哪想出来的?”
“先人栽树。”
苏定平喘着气,眼中跳跃着灼热的光。
“仿星器的离子束约束技术!基础打得牢实,高点的墙也能翻过去!就按这个干!”
“干了!”
陈工吼了一声,带着团队冲进了改造好的实验间。
几天后,当第一面利用这全新工艺抛光出来的镜片核心基材,在比原子力显微镜更为精密的相位干涉轮廓仪下进行面型扫描时,整个检测间鸦雀无声。
显示屏上,代表着镜面平整度的三维彩色云图呈现惊人的淡蓝色,核心区域的那一抹刺眼的、象征高误差区的赤红色……消失了!
“RMS……0.078nm!”
检测员的声音都在颤抖,带着难以置信的狂喜。
“天哪!我们……做到了!低于0.1nm!甚至低于目标精度!”
成功了!全新的超精密离子束抛光技术
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