“那就拜托郑所长了！时间紧！需要哪方面的协同实验，龙心团队全力配合！”
“没问题！”
郑玉拍着胸脯。
“你这份图纸和工艺一到，就是我们全所的冲锋号！”
几个月后，第一批完全由龙夏部落自主设计、自主工艺、927研究所独家生产的EUV极紫外光刻机专用多层膜反射镜系统，在严格的外部第三方检测实验室里完成了最终的性能测试。
当报告送达龙心实验室高层和苏定平的案头时，所有人看到那醒目的结论——“核心面型精度RMS误差。
≤0.08nm；薄膜层厚均匀度误差。
≤0.09nm；综合光转化效率与稳定性全面超越对标样品”。
这一刻，没人欢呼雀跃，反而是一阵死一般的寂静。
袁涛看着报告上那令人眩晕的数据对比，嘴唇微微翕动了几下，最终只发出几个嘶哑的音节。
“成了……真他娘的……干成了！”
ASM那曾经被视为无法逾越的、用无数专利和百年技术积累堆砌而成的高耸城墙反射镜壁垒上，硬生生被砸出了一个巨大的缺口！
苏定平重重地靠倒在椅背上，仰头看着天花板刺眼的日光灯。
连日来的疲惫如同潮水般涌上，伴随着巨大的、难以言喻的成就感。光源、反射镜……EUV光刻机这座堡垒最坚硬的几个内核，正在一个接一个地被龙夏部落的工匠撬开！
“终于……迈出了实质性的一大步。”
他闭上眼，轻声说道。
然而，短暂的喘息只在一瞬。下一个巨大阴影已经扑面而来。
宽敞但气氛压抑的EUV组装预研车间里，硕大的真空系统框架已经初具轮廓。
苏定平、袁涛等人站在巨大的设计面板前，目光聚焦在面板中央那两个至关重要的核心组件图标上——供件台和掩模台。
“定平。”
袁涛的声音透着前所未有的凝重。
“这两个台子，说白了，就是把那指甲盖大小的硅芯片和大尺寸掩模版，以纳米级的精度，在三维空间里精确对位和快速移动的两只手。”
他抬起手，指尖指着面板上的技术指标，那数字触目惊心。
“移动速度要达到每秒数米以上！”
“移动精度要控制在小于3纳米以内！”
“这相当于在一万米外投篮球，误差不能超过一根头发的直径！”
“更要命的是。”
袁涛加重了语气，指着旁边巨大的真空腔体框架。
“这一切，都要在比地球表面最干净的地方还要干净千万倍的超真空环境里完成！普通的机械轴承在那种环境下，连动都动不了几下，更别说纳米级的精度了！摩擦、润滑、防震、热量控制……全是死结！”
陈工在一旁补充，脸色也很难看。
“还有位置反馈系统，分辨率要达到亚纳米级别！现有的激光干涉仪技术，在常温大气中都很难稳定达到这个量级，更别说在真空里还要抵抗各种难以预计的微扰动……”
“也就是说，支撑这两个台子运动的核心——精密轴承系统，要求能在超高真空、零润滑、极高速度、极强动力学负载、极低热变形……这一大堆地狱级条件下，还能稳定地实现纳米级的定位精度和重复定位精度……”
另一位负责机械系统的工程师几乎是呻吟出来。
“这……简直是机械工程的珠穆朗玛峰！比反射镜只难不易！”
办公室里一片死寂。
这确实是当前摆在面前的最硬的骨头之一！比多层膜反射镜更需要整个国家精密制造工业体系的支撑！
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