核心模块进行优化设计，完成首套改进型乾式光刻机样机，以「可靠性提升」或「成本降低」为卖点。
陈学兵很佩服，但也有些失落。
想了半响，道：「KrF（氟化氪）是波长248纳米的紫外线，最小线宽只能做到130纳米，这跟主流机型已经是三个代际差，更别说前沿机型了，至少要从ArF
（氟化氩）起步，我的想法是从193nm乾式逐渐进入浸没式，达到134nm等效波长，只有这样的机器，晶圆厂才有机会通过补偿和多次曝光达到40nm以下线宽，你能不能让人给我做个ArF光源的报告？」
光源问题是本质，ArF光源好歹是有价值的，如果从KrF光刻机开始研究，他都不知道有没有技术演进的价值。
辛廷烨显然是了解过，立即摇头：「你高看我们了，报告上已经讲了，光源是研究不出来的，KrF光源工业化设备都要靠进口，国内绝对做不出来，你没接触过精密生产，做不出来就是做不出来，这个光源要气体纯度、电极、镀膜、压缩模块多方面配合，这麽多东西，有人带路也要七八年，没人带路十几年也不一定搞得出来，KrF光源制造设备能买，至於你说的ArF，能不能偷偷买到还不好讲，别的不说，这个气体可是消耗品，雷射腔一放电就要分解，又是管制商品，进口要开证明，比国际上贵几倍，偷运更贵，而且偷运渠道也是人家的销售策略罢了，并不是管控不了，有朝一日人家真的不让你搞了，渠道一断，说停摆就停摆，代价太大。
陈学兵沉默下来。
KrF，ArF乾式，ArF浸没式，EUV光刻机。
现在似乎连第二步都很难搞定。
但谓难的话他已经不想听了，如果只是更专业的人用更专业的话劝他放弃，他不接受。
辛廷烨忽地笑了笑，长出了一口气道：「没看出来你还是个有国产情怀的人，光源的事我虽然帮不了你，不过我给你提个意见...我听梦真说你们打算花大价钱聘请一批日本尼康的退休工程师，与其这样，不如集中资源，猎杀一个真正的系统级架构师，他可以告诉你，什麽能自己造，什麽必须买，什麽可以绕过。」
陈学兵眼神一亮：「你有办法？」
老头歪了歪嘴：「既然敢说，我当然有办法。」UC小说网_m.shukugu.com