看样子是同意回来了?」
邱慈云迟疑了一下,没回答。
「回来吧。」陈学兵温和道:「待遇好说,钱也不是问题,订单更不是问题,最多下个月,我会操作一笔53亿的资金投进来,7.05亿美元,後续资金也会源源不断,我保证让你们打一场富裕的仗。」
3产业基金分红以後有本金42亿,加上am中国股权转换11亿,共53亿。
:这笔钱,完全足够梁孟松的前期开销了,甚至足够支付台积电的赔偿和技术授权费。
不止是邱慈云,张汝京和梁孟松都有些动容。
「以後中芯缺钱,找我融资就行了,股票市场上的反应你们无需再去在意,专事生产和技术研发就好。」陈学兵又补充道。
邱慈云深吸一口气。
天降大能於中芯,挖来了台积电的研发核心人物,摁着台积电给授权,妥善安置张汝京,还给这麽一句承诺。
变了,中芯真是要大变了。
又是老厂子,有感情。
还给他一个董事长职位。
他此时已经想点头,只是强忍着几分矜持。
陈学兵也言尽於此,给张汝京递了个眼神。
张汝京领会,拉着邱慈云去一边:「老邱啊,以前没有认可你的路线是我的问题,你看,季明华,周梅生,涂良山这些你的老部下,我都提拔到工程副总裁,厂长.……」
俩人聊着走远。留下梁孟松,盯着那个空荡荡的超洁净室,忽然道:「你确定下个月资金能到位,我就请张总联系aml下新的订单了,等机器到了我还要做很多改动,需要些时间,最好能一次拿三台,定制套件会方便一些。」
「没问题。」陈学兵笃定道。
说着,心里又是惊叹。
这神人居然还能改aml的新机器。
「对了,你那天说t1900做fnft至少要三台联动,如果……aml下一代浸没式出来,单次曝光的制程节点更进一步,那就不需要这麽多机器了吧?」
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「不能。」梁孟松打量了他一眼,道:「我已经解释过了,需要多台机器这是工序问题,多重曝光的原理是把一个复杂图形拆分成多个简单图形,更好的光刻机只是能让每个工序做更快一些,提高总体产出。」
梁孟松说到这里又再打量他,眼神里有些疑色。
「而且t1900在单次曝光制程上已经很难进步,快到极限了,你不知道?」
陈学兵有点懵了。
我又不是专家,上哪知道去?
而且……这才2007年,你跟我说极限?「不可能吧?不是听说aml在研究下一代吗?」
梁孟松见他瞪眼加迷茫,这才细细解释道:
「光刻机的精度提升,离不开一个公式,叫瑞利判据。
「计算公式为=k?×λ/na,是单次曝光的线宽,k?是工艺因子,λ是波长,na是数值孔径。
「需要线宽更小,就必须减小分子,扩大分母,分子k?目前的进步十分缓慢,λ波长是193nm,af光源,这也无法更改了。
「而分母,数值孔径na=n×nθ,θ是物镜最边缘光线与中轴线的半角,n是介质的折射率。
「浸没式光刻机的光介质是水,折射率比空气大很多,约等於1.44,而这台机器的第二代折反式光学镜头已经把θ拉到了大约70°,n70°≈0.937,na已经达到了1.35,差不多逼近极限了。
「所以,下一代光刻机,大概率只能从套刻精度上下功夫,提升多重曝光的能力,而单次曝光的极限很难提升了。」
这次梁孟松讲很慢,而且
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