指甲碰撞金属发出的细碎声响,与实验室内恒温系统的低频排气声混杂在一起。
“韦伯博士。极紫外波段(EUV)的光路折射会对镜片表面产生极高的热负荷。”
艾米一边将胶卷装入高分辨率扫描仪的进片槽,一边用流利的英语抛出核心参数。
“贵方的设计中,关于多层钼硅反射膜的厚度公差补偿,在连续波长轰击下的热畸变冗余量是多少?”
韦伯愣了一下。
迪特和弗兰克也停下了手中的测试动作。
寒暄与客套被彻底省略。提问直接切入了最硬核的技术深水区。
“冗余量设定在零点二个纳米。”韦伯迅速调整状态,语气变得极其严谨,“我们采用了动态热补偿流体模型。”
“不够。”
艾米敲击键盘,调出刚刚扫描完成的第一张光学路径图。
“在实际投产中,晶圆表面的驻波效应会导致热量分布不均。零点二纳米的冗余会引发焦点漂移。我们需要重新计算镜片的曲率参数,将热畸变公差压缩到皮米级别。”
韦伯快步走到屏幕前,盯着被放大的线条。两名门生也围拢过来。
旧时代的模拟物理极限,与新时代的巅峰数字算力,在这个深埋地下的黑箱里完成了跨越时代的缝合。
扫描仪发出幽绿色的光线,逐行扫过微缩胶卷。
“关于第四组投影反射镜的非球面系数计算……”
“帮我把这些变量导入光线追踪矩阵,网格密度设定在……”
“底层钼硅多层膜的反射率衰减值,需要重新建立三维坐标……”
“……”
那些晦涩的物理术语与计算机指令交织在一起,随着扫描仪轻微的机械运转声,逐渐化作连绵不绝的背景音。
皋月退后两步。
她并未参与具体的技术争论。
专人专事,她并不懂这些,那就交给懂的人去做就好了。
她走到了实验室侧面的单向玻璃墙前。通风管道里的低频嗡鸣声掩盖了众人激烈的探讨声。幽绿色的光投射在玻璃上,明暗交替,映照着她微微翘起的嘴角。
这把刀,终于磨出了最锋利的刃。UC小说网_m.shukugu.com