《自律就变帅！高冷校花绷不住了！》
第538章 误差真的降下来了！他先看了一眼旧方案的数据，又看向新一栏。
“一点八纳米。”
老梁猛地抬头。
“多少？”
“一点八。”
年轻研究员干脆把报告投到了大屏幕上。
原方案：4.5纳米。
新方案：1.8纳米。
同一指定工况下，热耦合造成的峰值位置漂移，降低了百分之六十！
控制室里响起一阵低低的议论声。
“百分之六十？”
“之前我们调了那么多轮，能降一点都不容易……”
“等一下，先检查是不是测量口径变了。”
老梁已经走到计量组那边。
他一项项核对测试条件、原始记录和计算方式，连中途有没有发生自动回退都查了一遍。
没有。
两轮测试采用的是同一套测量口径，新方案也完整执行到了结束。
这次改善，是真真切切出现在整机上的。
老梁盯着那两个数字，好一会儿才转头。
“陈知远。”
“嗯？”
“你小子这回……真给我们干了件大事。”
陈知远笑了笑。
“现在高兴还早，只是一种工况，而且只解决了其中一类漂移。”
“我知道。”
老梁抬手指向屏幕，声音却忍不住高了几分。
“可你知道我们为了这类误差折腾多久了吗？三个月！”
“三个月，光是重复排查就排了不知道多少次，现在你一套办法上去，直接少了六成！”
顾明远站在一旁，听得眉开眼笑。
前天周启山让陈知远参与整机讨论时，还只是希望这个年轻人能提供点新思路。
谁能想到，两天工夫，思路已经变成了机器上看得见的成绩。
周启山没有立刻说话。
他拿过完整报告，先看了测试工况，又看了参数切换记录，最后才抬起头。
“确实漂亮。”
老人笑着拍了拍陈知远的肩膀。
“不过，你刚才那句话说得对，一次漂亮，不算真正站稳。”
“再来？”陈知远问。
“当然再来！”
第二轮、第三轮测试接连进行。
这次不用谁催，工作人员个个比刚才还认真。
数据陆续出来。
一点九纳米。
一点七纳米。
并不是每次都完全相同，但都稳定落在明显优于原方案的区间里。
更重要的是，系统没有出现异常的补偿振荡，也没有触发预设的回退条件。
当第三份报告打印出来时，老梁终于忍不住笑出了声。
“成了！”
旁边的年轻研究员跟着握紧拳头。
他们当然知道，这还远远不是整台EUV光刻机的综合精度，更谈不上已经具备稳定量产能力。
但这并不妨碍他们激动。
因为困扰整机联调数月的一类关键漂移，终于有了能够在真实设备上重复兑现的解决办法。
周启山把三份报告摊在一起。
“顾明远。”
“周院士？”
“你当初把人往我们这儿推荐的时候，说他值得试试。”
周启山笑着摇了摇头。
“你这哪里是给我推荐了一个学生啊。”
顾明远也笑了：“我倒是想多夸两句，怕您以为我吹牛。”
“现在不用你吹。”
周启山敲了敲桌上的测试报告。
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