正因为每个人都在认真对待自己的任务,才更难轻易拍板。
周启山听完,正准备让人把几个窗口重新核算一遍。
“周院士。”
陈知远忽然开口。
几道目光同时落在他身上。
“我能不能说两句?”
“你说。”
陈知远看着投影上的进度表,忽然问了一个问题。
“我们现在缺的,到底是各个子系统再多一份漂亮的测试报告,还是一片真正通过整机验证的晶圆?”
会议室安静了一下。
一位负责人皱眉:“你的意思是?”
“每个组都在尽量把自己那部分做到最好,这没有错。”
陈知远拿起桌上的笔,指了指几处被分散安排的测试节点。
“可整机的问题,光靠各组分别把数据做漂亮,是找不全的。”
“就像前面那类动态漂移,光学组的记录没错,控制组的记录也没错,真正的问题,偏偏出在它们一起运行的时候。”
老梁听得连连点头。
这事他亲身经历过,太有发言权了。
陈知远继续道:“既然迟早要把它们放在一起,为什么不先拿现有平台,集中攻一次完整验证?”
负责工艺集成的院士抬起头。
“你说的完整验证,具体到什么程度?”
“在现有原型平台和安全边界内,完成一批多轮对准曝光测试晶圆。”
陈知远说得很清楚。
“要有重复样片,要有独立检测,不是拍一张成功的图,也不是做出一次偶然好看的结果。”
“这当然是我们想要的。”对方看着他,“问题是,你准备什么时候做?”
“一个月。”
三个字落下。
会议室里一下子安静了。
老梁原本正端着水杯,听到这里,动作都顿了一下。
一个月?
现在排出来的计划,可是几个月以后!
“知远。”周启山缓缓开口,“这话可不能随便说。”
“我知道。”
陈知远神色平静。
“所以我说的是现有原型平台的阶段性整机验证,不是造出能量产的EUV光刻机,更不是一个月把所有问题解决。”
他起身走到屏幕前。
“设备已经在这儿,各组的数据也有了,我们现在最大的浪费,不是某个零件不够好,而是每组都在等别的组准备到自己满意。”
“整机需要的,不是所有部件在自己的测试环境里拿满分。”
“而是它们在同一套条件下,能不能把同一件事做成。”
这句话说完,几个原本低头记笔记的负责人,都抬起了头。
陈知远没停。
“我建议先把目标收窄,不追求所有工况,不碰超出当前能力范围的指标,只锁定一套能够实现的测试条件。”
“第一周,统一接口、测量口径和测试流程,先把完整链路跑通。”
“第二周,集中解决联调中真正影响结果的几个关键问题。”
“后面两周,做重复曝光和独立检测。”
“中间哪一步过不了,就在那一步停下,不往后硬冲。”
他指了指进度表。
“也就是说,不是把所有人原来的工作都推翻,而是先挤出一条能真正往前走的路。”
这下,连一直态度谨慎的工艺集成负责人也认真起来。
“你这个方案,最大的问题不是技术,而是协调。”
他指着其中一行安排。
“几家单位要同时调整设备窗口。
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