护条件仍然有效后,才允许重新启动。
这一次,提示没有再出现。
一个个状态灯依次亮起。
控制室里所有人的目光,都集中到了最后一项进度上。
完整曝光流程,执行完成。
“完成了?”一个年轻研究员忍不住问。
老梁摆摆手。
“机器说完成不算,得看晶圆。”
测试样片随后被送往计量检测。
等待结果的那段时间,反而比刚才还难熬。
周启山站在控制室里,手中的茶早就凉了,也没喝一口。
终于,计量组的电话打了过来。
“周院士,第一批结果出来了。”
“说。”
“完整曝光链路执行正常,样片上检测到了预定测试图形,图形数据已经上传,可以进一步分析。”
周启山没有立即说话。
下一秒,屏幕上的检测图像传了过来。
一组组细密的测试图形,清清楚楚地出现在众人眼前。
不是一张用来展示光源能够曝光的照片。
而是现有平台按照这一轮统一流程,由多个系统协同完成后,真正交出来的测试结果。
老梁一拳砸在自己掌心。
“成了!”
有人直接站了起来。
“真跑通了!”
“七天啊!这事之前还排在几个月后呢!”
那位负责工艺集成的院士盯着屏幕看了许久,终于长长吐出一口气。
“原来不是非得等到所有系统都做到最好,才能往前走这一步。”
周启山转过头,看向陈知远。
“你这一周,真把大家拧到一起了。”
陈知远没有谦虚,也没有得意。
“主要是各组底子都在,没有他们前面做的那些工作,七天也不可能把链路跑通。”
这话没人反驳。
可所有人也都清楚,底子一直在,过去却始终没能这样协同起来。
差的正是那个能把整盘棋看清楚、还敢把所有人往同一个方向带的人。
周启山看完第一批数据,当场让工作人员把后续设备窗口重新排好。
“别再等原来那张表了,接下来优先保障多轮对准验证,其他计划按程序协调调整。”
“今天这批数据全部归档,独立检测继续做。”
“明白!”
然而,几分钟后。
计量组负责人拿着更详细的分析报告走进控制室。
“周院士,还有个问题。”
老梁刚刚扬起来的嘴角停住了。
“又怎么了?”
“图形是出来了,但不同曝光层之间的位置匹配还不够稳定,按咱们这次定的阶段验收要求,现在还过不了。”
控制室里的兴奋稍稍冷却。
周启山拿起报告,皱起了眉。
这并不奇怪。
完整链路跑通,只代表他们终于能把整套设备放在一起工作。
真正要让多轮曝光的图形准确落到指定位置,还有一道硬坎。
老梁下意识看向陈知远。
“接下来怎么干?”
陈知远接过报告,迅速翻了几页。
他的视线落在几组不同条件下的偏差分布上,忽然笑了。
“这不是挺好吗?”
老梁一愣。
“哪里好了?”
“以前连完整结果都拿不到,想查都找不准地方。”
陈知远把报告摊到桌上。
“现在机器能完整跑起来,问题反
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