“你这脑子到底怎么长的?”
“正常长的。”陈知远笑道,“就是比你们少走了点弯路。”
“你管这叫一点?”
老梁被气笑了。
可笑过之后,他又低头看了眼那份报告。
二十多天。
那么多人把每个系统都翻来覆去地查,偏偏没想到把晶圆不同区域的形貌变化和对准误差这样放在一起看。
最让他服气的,还不是陈知远想到了这个方向。
而是这小子一旦判断出问题,几乎立刻就知道该用什么现成的数据来证明,甚至连验证可能踩到的坑都提前避开了。
这才是真正吓人的地方。
当天晚上,周启山看完报告,直接批准了下一轮受控测试的准备工作。
设备检查、风险复核、原控制方案保留、独立计量安排,一项没省。
陈知远也没打算通宵守在控制室里。
把关键安排确认好,他照常回去休息。
这些天,他每天该睡就睡,第二天却总是第一个能把问题想清楚的人。
老梁本来还想劝他年轻也别硬撑,后来想想,最需要劝的好像是自己。
奇怪的是,和陈知远连续共事这阵子,他晚上反倒比之前睡得踏实了。
“项目有盼头了,觉都好睡。”老梁自己给自己找了个解释。
第二十九天。
上午十点。
三位牵头院士都来到了整机测试中心。
周启山端着保温杯,站在监控屏幕前。
“最后确认一次。”
“测试流程和退出条件全部复核完毕。”
“独立计量组已就位。”
“样片编号完成,检测标准不作临时调整。”
一项项回答落下。
周启山看向陈知远。
“开始?”
“开始吧。”
陈知远点头。
设备按程序运转。
没有惊天动地的声响,也没有什么炫目的光芒。
控制室里,只有一行行平静变化的状态数据。
可在场的每个人,都知道今天这场测试意味着什么。
他们不再只是证明设备能把图形印出来。
他们要证明,在预定的受控条件下,原型平台能够把不同曝光层一次又一次准确地对到一起。
第一片测试晶圆完成曝光,送去检测。
等待的时候,老梁想喝口水,拧开杯子才发现里面早空了。
“你紧张什么?”陈知远瞥了他一眼。
“废话。”老梁把杯子放下,“你小子倒是坐得住。”
陈知远笑了笑。
他当然也期待结果。
只不过,能做的工作都已经做到位了,剩下的就交给数据。
约莫半小时后,计量组的电话来了。
负责人拿着报告快步走进控制室。
“第一片,符合预定指标!”
老梁腾地站了起来。
有人已经忍不住笑出声。
周启山却抬了抬手。
“别急,还有后面两片。”
第一片成功,值得高兴。
但他们今天要的,从来不是一次运气好的结果。
第二片送检。
等待。
“第二片也通过了!”
这次,就连周启山握着保温杯的手,都不自觉收紧了几分。
控制室里几个人互相看了看,谁也没再说笑。
第三片。
时间似乎变得格外慢。
负责计
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