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六天后。庐州,联合科研中心。
上午九点,会议室里已经坐满了人。
周启山端着保温杯,刚走进门,就看见老梁站在投影前,来来回回核对最后一页材料。
“你再看一百遍,那三片晶圆也不会自己变成四片。”
老梁回过头,苦笑道:“周院士,我这不是怕漏东西吗?”
“原始记录都归档了,独立检测也复核过了,真有问题,咱们就老老实实回答。”
周启山说完,往会议桌前方看了一眼。
陈知远坐在那里,正低头翻着一份装订好的报告。
一身简单的休闲衬衫,神情轻松得像是来学校参加答辩。
周启山顿时有些好笑。
忙了三十天,最后的阶段评审就在眼前。
老梁这个干了二十多年工程的人紧张得不行,倒是全场最年轻的那个,连水都喝得不紧不慢。
九点半,评审正式开始。
此次参评的除了专项有关负责人,还有几位从其他科研单位请来的专家。
周启山等三位牵头院士负责介绍成果,独立评审组则依据资料和现场答疑作出意见。
前半段进展得很快。
本轮攻关做了什么,哪些指标通过了验证,哪些条件下还存在限制,报告里都列得清清楚楚。
三片测试晶圆的检测结果也被放到了屏幕上。
评审席上,一位头发灰白的专家翻到核心贡献人员名单,手指忽然停了下来。
陈知远。
十九岁。
华夏科学技术大学,在读。
他抬头朝前排看去。
原来坐在周启山旁边的年轻人,就是陈知远?
名字他当然听过。
高考满分,百米世界纪录,国际学术会议上表现出色的年轻人。
可听过归听过。
这毕竟是国产EUV原型平台的整机攻关,不是参加一场竞赛,更不是一个人算出一道难题就能结束的项目。
这么大的工程,让一个十九岁的大学生承担技术统筹?
老周真敢啊。
他合上那页资料,倒没有急着发表意见。
既然名字能写在这里,成果报告也已经送到眼前,他更想知道,这个年轻人到底起了多大的作用。
等周启山汇报结束,他才举了举手。
“我有个问题,想请陈知远同志回答。”
陈知远抬头。
“您说。”
“报告显示,原型平台完成了约定条件下的多轮对准曝光,三片样片通过阶段检测,这一点,材料是充分的。”
老人停了一下。
“但我想问问,你觉得这份成果,距离真正能投入芯片制造的工程应用,还有多远?”
老梁下意识坐直了些,这问题可不简单。
讲成果容易,讲成果的边界才见本事。
尤其年轻人,最容易一高兴就把话说满。
陈知远却几乎没有思考。
“还很远。”
会议室里安静了一瞬。
评审专家抬了抬眉毛。
陈知远接着说道:“这次证明的是,现有原型平台在规定工况下,能够让不同系统协同完成多轮对准曝光,而且结果有重复性。”
“但离真正连续制造可用芯片,还隔着不少问题,光源长期稳定性、整机可靠性、曝光效率、工艺窗口、最终良率……这些都不是三片测试晶圆能回答的。”
他说着,翻到报告后面。
“所以我们也没把它写成量产突破,现在完成的是阶段目标,接
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