厂房各个物品的标签都弹了出来。
先是眼前的巨兽：
【设备：ASML TWINSCAN NXT系列浸没式DUV光刻机】
【状态：健康】
【驱动软件：ASML原生驱动】
旁边的生产线：
【设备：前道全自动涂胶显影机】
【状态：健康】
【驱动软件：原厂驱动】
看起来都没什么问题。
旁边的丁耀先又补了几句：“韩总，您是不知道，能查的地方我们都查了：镜片的温差畸变、原料光刻胶的批次活性，甚至连旁边有车辆路过时厂房的微震动都检测了，全都没有相关性。”
说完他叹了口气：“出现这种状况，要是以前早就请原厂工程师来了；可现在售后全断了，他们的工程师过不来不说，连远程诊断也做不到。”
听起来就像个密室杀人事件。
如果硬件都没问题，那就是软件了？
售后断了，现在用的是什么软件？
韩路一把心里的疑问问了出来。
“是我们自研的管理系统，但已经用了快两年，肯定不是这儿的问题。”丁耀先一听就明白韩路一的意思，也有点儿不以为然。
工业生产可不是互联网产品，能用的东西都不会轻易变动。
当初为了多重曝光技术，他们研究了这个操作系统，之后为了稳定性就没动过。一个两年没动过的东西，怎么会突然出问题？
韩路一又看了一会儿，突然出声：“丁工，你们的监控室在哪儿？能去看看吗？”
丁耀先已看出韩路一没什么头绪，心里也不抱什么希望。
厂里几十个半导体工程师研究了半个月都没看出门道，还能让一个外行把问题解决了？
他现在只想韩路一早点看完走人，他们好继续排查。
还好，监控室的密级并不比生产区更高。
几人一起走进中央监控室，里面有几个值班工程师，每个人都显得压力重重。进门后，韩路一指着旁边的大屏幕问：“管理系统的运行日志能看到吗？”
他没问光刻机的日志，那个是设备加密的，连冰芯也看不到。
丁耀先让一个值班工程师把最近两周的工作日志调出来，然后对韩路一说：“韩总，我们这个系统也是核心工艺的一部分，您不能外泄啊。”
“丁工放心。”
韩路一一边说，一边打开视界。
眼前的日志马上被视界染上不同颜色。
韩路一静静地翻着日志记录。
日志量极为庞大，生产管理系统所管理的各条产线光刻机在生产流程中产生的所有日志都汇聚在一起，绝大部分标着【INFO】级别，记录一些操作信息，只有极少数出现【WARN】和【ERROR】。
丁耀先解释道：“这里我们也第一时间排查了，系统看没有对应的错误信息，肯定不是这儿的问题。”
他见韩路一没说话，仿佛已进入非常专注的状态，为了不打扰，干脆闭嘴，也没给其他人介绍韩路一的身份。
几个值班工程师看是丁耀先亲自带进来的人，一进来就看日志，也不知道发生了什么，只分出些余光偷偷关注。
就这么看了几分钟，韩路一突然开口：“上次出问题是今天凌晨？”
他已经翻回视界标出问题的第一条日志，记录上有一个时间戳为【02:07:33.129】的日志被视界标红了。
丁耀先听后猛然一惊，问道：“你怎么知道？”
他急得连敬称都忘了用。
韩路一用手指着屏幕上那行日志：“你看，这里出错了。
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