”
周围几个工程师早围了过来。
此时屏幕上上上下下密密麻麻的日志都是【INFO】级别，没有任何错误标出。
这个人怎么就笃定这儿出错了？
过去两周，这工作日志他们不知查了多少次，也没看出什么问题。
旁边一个负责维护自研系统的工程师不知道韩路一的身份，但听他这话，忍不住出声：“你怎么说话呢？这行日志不是很正常吗？状态码200，光刻机也正常接收了，没有任何报错信息。”
听这工程师语气不太好，丁耀先正要喝止，韩路一倒没在意，直接说道：“通信是成功了，但数值有偏差。”
说完他又补了一句：“不好意思，我操作一下。”然后用鼠标键盘把那行日志复制下来，放到旁边一个新建文档里，又向上滚动，找到另外几条日志，把里面的内容复制下来，依次粘贴进文档。
“这条日志记录的是对齐补偿参数吧，1.341289，后面的单位是纳米？”韩路一边看边问。
刚才反驳他的工程师见他这么快就手动抓取了几条日志，感觉思路有点跟不上，正专心读日志内容，没说话。倒是丁耀先答道：“对，这是我们系统计算出的数值。下面那一行是光刻机给的回执，1.3413纳米。因为光刻机精度没到0.1皮米这个级别，后面的数值就约掉了。韩总，您对——”
刚解释完，就听见刚才说话的那个年轻工程师突然叫道：“不对啊，怎么会是1.2呢？”
丁耀先话说到一半被打断，转头看过去，只见那工程师直勾勾地盯着屏幕上的日志。丁耀先也顺着他的目光看向屏幕。
刚才他和韩路一讨论的是之前一段正常时间的输入值和返回值。
而韩路一第一次复制出来的，那个凌晨两点，恰好是错误批次的输入值和返回值，分别是1.299998和1.2000。丁耀先马上也意识到问题了。
差了将近零点一纳米！
对使用多重曝光技术来实现七纳米的工艺来说，0.1纳米的误差再经过几次叠加放大，这么大的偏差足够直接导致晶圆片上的电路报废。
这是怎么回事？
意识到发生了什么的丁耀先赶紧对屋里其他几个人大声说：“快！快把之前事故记录的时间找出来，找到对应日志，看看是不是都这种情况！”
单看今天凌晨这一次，这个日志已足以证明问题会导致晶圆片报废，但他们还要验证之前几次是不是同样原因。
监控室里的人迅速行动起来，调出事故记录，找到对应时间，翻找对应日志。
几个人分在几台电脑上操作，几分钟后，第一个人有了结果。
“丁工，定位了，昨天晚上的那次失败也有同样的精度问题，0.999997被约成了0.9000！”
随后其他几个人也都有了发现。
“我这里也找到一个，2.199999的返回值是2.1000！”
“我这里也是！”
很快他们就找到七八条在失败批次时间出现的记录，都是同样的精度丢失问题。
这下基本可以确定问题出在哪儿了。
如果说一次是巧合，总不可能七八次都是巧合。
接下来就是怎么修的问题。
既然问题规律已经找出来，总有办法解决：现在的补偿值是管理系统通过光学测量仪器读取后直接送到光刻机的，光刻机取近似出了问题，那就不让光刻机来做这个工作，把补偿值在管理系统里做好再给光刻机，总不能再出类似问题了吧？
软件团队负责人不在场，丁耀先先问了一句：“如果把取近似的功能提前到我们系统里，你们觉得多快可
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