最新网址：m.shukugu.com
两周后。整机测试中心。
最后一轮连续运行的数据出来时，老梁盯着屏幕看了足足半分钟，才把手里的笔往桌上一放。
“过了。”
旁边几个研究员顿时松了口气。
这半个月，他们换了好几种工作节拍，又做了长时间负荷变化测试。
陈知远提出的动态补偿方案，没能把所有误差一扫而空，却在事先划定的工况内始终保持着明显优于旧方案的表现。
没有再出现先前那种补偿越补越乱的情况。
老梁把报告往陈知远面前一推。
“你看看，你那套东西，这回算是真正站住了。”
陈知远翻了两页，“嗯，跟预计差不多。”
老梁差点气笑，“你倒是挺淡定。”
“我又不是第一次看这组数据。”陈知远笑道，“而且这才解决了一类动态漂移。”
“得得得，知道你眼光高。”
老梁嘴上抱怨，脸上的笑意却怎么都压不住。
几个月没找到突破口的问题，如今终于有了一套能反复验证的处理办法。
他比谁都清楚，这份报告有多值钱。
不过陈知远说得也没错。
解决一种漂移，不等于整台光刻机就能稳定干活。
当前原型平台可以完成基础曝光，可要让一片测试晶圆连续完成多轮对准曝光，各个系统必须在同一套工作条件下配合。
真正难的，是把它们合在一起。
而这，也正是今天这场联合推进会要讨论的事。
上午十点。
陈知远推开会议室大门时，里面已经坐了三十多人。
除了周启山，还有另外两位院士。
一位负责光源与相关工程系统，另一位长期负责整机工艺集成。
各家研究所、设备单位的技术负责人也来了。
跟上次不同，今天谁都没有再把陈知远当成一个来旁听的年轻学生。
有人主动冲他点头，有人跟他打招呼。
老梁甚至直接替他拉开了前排的椅子。
“坐这儿，待会儿肯定要问你。”
陈知远也没客气。
会议开始，周启山先把两周来的验证结果作了简短通报。
新方案已经完成阶段性测试，正式转入后续工程优化。
几位负责人听得很认真。
但真正讨论到下一阶段，气氛很快就变了。
投影屏幕上出现了一张整机联合测试计划表。
光源组还有稳定性测试没完成。
反射光学组准备更换一套测量标定流程。
工件台和控制组正在调整接口。
工艺验证那边，则一直在等一个足够完整的连续测试窗口。
每个组都有自己的计划。
每个计划单独看，也都说得过去。
问题是，把它们排到一起，下一次完整的多轮对准曝光验证，竟然被排到了几个月以后。
“再快也得先把基础打牢。”一位负责人说道，“现在就强行联调，测试窗口可能都耗在排故上，最后各组自己的任务也耽误了。”
负责工艺验证的院士点了点头。
“风险确实有，样片做出来不难，难的是结果要能重复，还得经得起独立检测。”
光源方向的负责人接过话头。
“我们也不是不想配合，可我这边还有自己的节点，一旦整机联调占了设备，原来的安排就得往后挪。”
没人吵架。
他们都是干了几十年科研的人，当然知道轻重。
最新网址：m.shukugu.com
-->>(第1/4页)（本章未完，请点击下一页继续阅读）